HANBELL變螺距干式變頻螺桿真空泵
2021-09-08
漢鐘PD變距系列干式螺桿真空泵主要特點:
●漢鐘螺桿真空泵排氣路徑短,減少反應物沉積;
Hanbell干式螺桿真空泵相較于其他形式的真空泵,因氣體于泵內的傳輸路徑短,不易產生反應物沉積的現象。
●漢鐘螺桿真空泵線形密封性佳,泵浦性能佳;
Hanbell干式螺桿真空泵,特有轉子密封線形,轉子密封性佳,轉子能以較大的嚙合間隙達到更快的抽氣效果,由于漢鐘真空泵的嚙合間隙較大,泵浦較不易因制程氣體沉積而卡死,轉子也較不易因磨耗而需更換。
●漢鐘螺桿真空泵結構簡單,故障率低,維護容易;
Hanbell干式螺桿真空泵因只需要利用一對轉子相互嚙合達到密封效果,結構上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設計,降低轉子與隔板沉積卡死的風險。且因其結構單純,拆卸維修也比較容易,因此能縮短維修時程,降低維修費用。
●漢鐘螺桿真空泵微電腦操作,遠端監控,保護周全。
Hanbell干式螺桿泵微電腦控制器提供真空簡易的操作方式并能顯示真空泵完整的運轉狀態,方便使用者對泵應用狀態進行調整,在真空泵產生問題前進行預防保養。遠端監控系統能夠提供使用者方便的監控工具,使用者不需到現場就能夠了解真空泵的運行狀態。
漢鐘螺桿真空泵典型應用:
面板TFT-LCD, Touch Panel
太陽能Solar
冶金系統Metallurgical System
鍍膜Coating
電漿制程Plasma processes
干燥處理Drying Process
制程氣體抽取Degassing
生技/制藥Biotech/Pharmaceutical
化工產業Chemical Industry
鋰電池Battery
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機型Model | 單位Unit | PDF110 | PD120 | PD300 | PD400 | PD650 | PD800 | |||
抽氣速度 Pumping Speed (50Hz/60Hz) | l/min | 1800 | 1667/2000 | 4167/5000 | 5556/6667 | 9030/10840 | 11011/13233 | |||
m3/hr | 110 | 100/120 | 250/300 | 333/400 | 540/650 | 680/800 | ||||
Cfm | 65 | 59/71 | 147/176 | 196/236 | 317/382 | 393/471 | ||||
終ji壓力 Ultimate Pressure | Torr | ≦7.5*10-3 | ||||||||
mbar | ≦1*10-2 | |||||||||
Pa | ≦1 | |||||||||
馬達 Motor | 頻率Frequency | Hz | 50/60 | |||||||
電壓Voltage | V | 220-440 | ||||||||
額定功率 Rated Power | Hp | 3 | 4/4.8 | 8/10 | 15/20 | 25/30 | 25/30 | |||
kW | 2.2 | 2.98/3.58 | 6.7/7.5 | 11/15 | 18.5/22 | 18.5/22 | ||||
連接 Connection | 進氣口Inlet | NW50 | NW50 | ISO63 | ISO63 | ISO100 | ISO100 | |||
排氣口Outlet | NW25 | NW40 | NW40 | NW40 | ISO63 | ISO63 | ||||
冷卻水 Cooling Water | 接頭Connection | RC3/8 | ||||||||
壓力Pressure | Mpa | 0.2-0.4 | ||||||||
溫度temperature | ℃ | 25 | 3slm18℃-6slm28℃ | 6slm18℃-15slm28℃ | ||||||
流量Flow | l/min | 1 | ||||||||
氮氣 N2 | 壓力Purge Pressure | MPa | 0.15-0.2 | |||||||
稀釋流量 Dilute flow | L/min | By process | ||||||||
密封流量 Sealing foow | L/min | 10 | ||||||||
接頭Connection | Swagelok 1/4" | Swagelok 3/8" | ||||||||
尺寸Dim. | 長×寬×高L×W×H | mm | 398*358*551 | 814*380*663 | 1075*430*650 | 1582*700*757 | 1831*610*735 | 1831*610*735 | ||
重量Weight | Kg | 132 | 280 | 390 | 750 | 1050 | 1050 | |||
噪音Noise | dB(A) | 68 | 66 | 70 | 72 | 75 | 75 | |||
系統zui大漏率 System Max. Leak-rate | mbar.l/s | 1*10-5 | ||||||||
室溫操作范圍Operation Temp. | ℃ | 5-40 |